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测试仪器网 > 气体分析 > 有毒气体检测仪 > 半导体特气检测仪XD-303
半导体特气检测仪XD-303
产地：日本

厂商：COSMOS

市场报价：
半导体特气检测仪XD-303 功能特点/性能参数
　　

特点：

·采用定电位电解式传感器，对被测气体具有选择性

·高检测灵敏度

·能检测很多种类的半导体特气

·液晶数字显示

 

规格

型号 XD-303AH XD-303PH XD-303BH XD-303
检测对象气体 砷烷 (ASH3) 磷烷 (PH3) 乙硼烷 (B2H6) 其它
检测 范 围 0～1ppm
0～0.2ppm 		0～1ppm
0～0.3ppm 		0～1ppm 因规格而异
最小 刻 度 0.1ppm0.01ppm 0.1ppm0.01ppm 0.1ppm

 

采样 方 式 自动吸引式
应答 速 度 60%应答40秒

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