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测试仪器网 > 气体分析 > 有毒气体检测仪 > 半导体特气检漏仪 XP-703D
半导体特气检漏仪 XP-703D
产地：日本

厂商：COSMOS

市场报价：
半导体特气检漏仪 XP-703D 功能特点/性能参数
　　

特点：

·最适合于检测半导体特气的微量泄漏

·采用声光报警

 

技术指标：

型号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度（单位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内

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